光電顯示屏行業(yè)生產(chǎn)時產(chǎn)生的廢氣該如何處理?
2022-08-24(1273)次瀏覽
電子行業(yè)一般分為電子專用材料、電子元件、印制電路板、半導體器件、顯示器件及光電子器件、電子終端產(chǎn)品六大類。那么,顯示器件(薄膜晶體管液晶顯示器件)制造行業(yè)都有哪些廢氣,光電顯示行業(yè)廢氣怎么治理?
廢氣來源
光電顯示行業(yè)的廢氣主要來源于液晶面板工序的光刻、刻蝕、保護膜生成而產(chǎn)生的有機廢氣、酸性廢氣、堿性廢氣及有毒廢氣。
廢氣成分
光電顯示行業(yè)廢氣污染物包括苯、甲苯、二甲苯、丙酮、異丙醇、2-丁酮、乙酸乙酯、二氯甲烷、NMHC等有機廢氣、酸性廢氣和堿性廢氣及有毒廢氣。
光電廢氣治理技術方案
1、光電顯示行業(yè)廢氣治理技術主要有以下4種:
催化燃燒法
燃燒法是利用某些廢氣中污染物可以燃燒氧化的特性,將其燃燒轉變?yōu)闊o害或易于進一步處理和回收物質(zhì)的方法。燃燒法適用于凈化可燃的或高溫下分解的物質(zhì),有機廢氣一般都具有可燃性,適合燃燒處理。燃燒法具有工藝簡單,操作方便,凈化效率高,可回收熱能等優(yōu)點,但在可燃組分含量較低時,需預熱耗能。有機廢氣的燃燒工藝主要有直接燃燒、熱力燃燒、催化燃燒以及蓄熱燃燒。
活性炭吸附法
吸附法是利用多孔性的固體吸附劑將水樣中的一種或數(shù)種組分吸附于表面,再用適宜溶劑、加熱或吹氣等方法將預測組分解吸,達到分離和富集的目的。吸附劑中的活性炭對苯、甲苯、二甲苯、乙醇、乙醚、等物質(zhì)都有吸附功能。
吸收法
吸收法處理是利用液態(tài)吸收劑處理氣體混合物以除去某一種或幾種氣體的過程。在這過程中會發(fā)生某些氣體在溶液中溶解的物理作用,這是物理吸收。也有氣液中化學物質(zhì)之間發(fā)生化學反應,這是化學吸收。吸收法是分離、凈化氣體混合物重要的方法之一,在氣態(tài)污染物治理工程中,被廣泛用于治理氯化氫、氟化物、SO2、NOx等廢氣中。
冷凝法
冷凝法是利用物質(zhì)在不同溫度下具有不同飽和蒸汽壓的物理性質(zhì),采用降低系統(tǒng)溫度或提高系統(tǒng)壓力的方法,使處于蒸汽狀態(tài)的污染物冷凝并從廢氣中分離出來的過程。其實冷凝法是把廢氣直接導入冷凝器或先經(jīng)吸附吸收后,解析的濃縮廢氣導入冷凝器,冷凝液經(jīng)分離可回收有價值的有機物的一種方法。
2、光電顯示行業(yè)廢氣治理方案主要有以下:
方案一:催化燃燒+濕式洗滌塔、冷凝+稀硫酸洗滌塔
有機廢氣處理主要通過沸石轉輪吸附濃縮焚燒處理系統(tǒng)處理達標后,從排氣筒排放;剝離廢氣可通過冷凝+稀硫酸洗滌塔凈化處理后從排氣筒排放。
方案二:沸石轉輪吸附濃縮焚燒裝置
沸石轉輪是將大風量、低濃度的廢氣濃縮到高濃度、小風量的廢氣,從而減少設備的投入費用和運行成本,提高voc廢氣的效率處理。沸石轉輪系統(tǒng)是目前治理VOCs的理想設備,集吸附、解吸、濃縮焚燒于一體。
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